第七百二十五章 開研討會(huì)
“沒想到，新設(shè)備第一次光刻測(cè)試就成功了，姜教授他們這些人真是牛。”
“那是當(dāng)然，光刻機(jī)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室是咱們維創(chuàng)電子公司和ZK院半導(dǎo)體研究所、深鎮(zhèn)大學(xué)，共同合作建立的，里面工作的研究員，學(xué)歷最低的也是碩士研究生，能不厲害嗎?！?p> “芯片生產(chǎn)線最核心的設(shè)備光刻機(jī)研發(fā)成功了，其他相關(guān)設(shè)備的研發(fā)難度就低多了，也許咱們維創(chuàng)電子公司有一天，可以生產(chǎn)整條芯片生產(chǎn)線上的所有設(shè)備。”
“沒那么容易，整條芯片生產(chǎn)線上的設(shè)備太多了，咱們維創(chuàng)電子不可能分心生產(chǎn)這么多的東西?！?p> “第一次光刻測(cè)試，產(chǎn)品合格率就達(dá)到了68.7%，再做一些參數(shù)優(yōu)化，將合格率提升到70%、80%，也不是不可能。
接下來，劉焱和姜安平等人去食堂吃了一餐遲來的午飯，然后返回?zé)o塵車間，對(duì)光刻機(jī)進(jìn)行進(jìn)一步的測(cè)試，包括極限加工精度測(cè)試，最高光刻速度測(cè)試，長(zhǎng)時(shí)間壓力測(cè)試等等。
此后半個(gè)月，又有兩臺(tái)維創(chuàng)電子自產(chǎn)的一微米光刻機(jī)加入測(cè)試，隨著設(shè)備參數(shù)的不斷修改優(yōu)化，一些零配件的小修小改，生產(chǎn)的芯片合格率已經(jīng)提升到了81%。作為一家剛剛成立不到半年的晶圓工廠，這個(gè)合格率已經(jīng)相當(dāng)高了。
11月中旬，維創(chuàng)電子公司和ZK院、深鎮(zhèn)大學(xué)，合作研發(fā)的一微米光刻機(jī)正式定型量產(chǎn)。
為此，三家單位特意舉行了一個(gè)表彰大會(huì)，還叫來了幾名報(bào)刊雜志和電視臺(tái)的記者，對(duì)此進(jìn)行報(bào)道。在這次的表彰大會(huì)上，對(duì)光刻機(jī)研發(fā)小組全體成員進(jìn)行了通報(bào)嘉獎(jiǎng)，所有人都獲得了維創(chuàng)電子公司提供的一萬到十萬不等的獎(jiǎng)金。
在改開之初的八三年，RMB非常的堅(jiān)挺，萬元戶在深鎮(zhèn)也是鳳毛麟角的存在。如今一大批搞光刻機(jī)研發(fā)的技術(shù)人員，輕輕松松成為萬元戶，甚至十萬元戶，造成的轟動(dòng)效果可想而知。
消息見報(bào)不到一周，維創(chuàng)電子公司就接到了五臺(tái)一微米光刻機(jī)訂單，都是國(guó)內(nèi)的幾大電子研究所訂購(gòu)的，用于國(guó)產(chǎn)芯片的研發(fā)制造。
劉焱當(dāng)初投資研發(fā)光刻機(jī)，本來就沒想過依靠它盈利，量產(chǎn)型號(hào)的光刻機(jī)，對(duì)外售價(jià)只有2百萬RMB。這個(gè)價(jià)格只有國(guó)外同類產(chǎn)品的三分之一左右，可謂是物美價(jià)廉。
可惜這年月，國(guó)內(nèi)的晶圓工廠大多不成氣候，后續(xù)訂單就算有，也不會(huì)有太多。好在維創(chuàng)電子公司自己就有晶圓工廠，且盈利豐厚，只要自產(chǎn)光刻機(jī)能完美替代進(jìn)口產(chǎn)品，且能跟隨摩爾定律不斷升級(jí)進(jìn)化，花再多的研發(fā)資金也是值得。
表彰大會(huì)之后，劉焱召集全體光刻機(jī)研發(fā)室實(shí)驗(yàn)室成員，召開了一個(gè)研討會(huì)，對(duì)下一步的研發(fā)計(jì)劃和研發(fā)方向進(jìn)行了部署。
劉焱代表維創(chuàng)電子公司率先發(fā)言，說道：
“一微米光刻機(jī)已經(jīng)研發(fā)成功，并定型量產(chǎn)，在座的諸位功不可沒。但這一切都已經(jīng)是過去式，接下來，咱們要在一微米光刻機(jī)的基礎(chǔ)上，再接再厲，研發(fā)0.5微米制程的光刻機(jī)。我代表維創(chuàng)電子公司表個(gè)態(tài)，不管研發(fā)過程中遭遇怎樣的困難，需要投入幾億，十幾億，甚至幾十億的研發(fā)資金，我們維創(chuàng)電子也在所不惜。接下來，有請(qǐng)姜教授就下一代光刻機(jī)研發(fā)計(jì)劃，做一下總體規(guī)劃。”
姜安平拿出一份手寫的稿子，清了清嗓子說道：
“當(dāng)初劉老板提供的光刻機(jī)研發(fā)資料中，有一份0.5微米光刻機(jī)研發(fā)概要，點(diǎn)明了幾個(gè)研發(fā)要點(diǎn)，包括光源，透鏡系統(tǒng)，雙工臺(tái)，掩模臺(tái)等等。
其中雙工臺(tái)、掩膜臺(tái)、控制系統(tǒng)、晶圓傳輸系統(tǒng)，可以通過一微米光刻機(jī)的相關(guān)部件進(jìn)行升級(jí)改造達(dá)成，難度不是太大。
但為了達(dá)到0.5微米的加工精度，光源系統(tǒng)和透鏡系統(tǒng)需要重新設(shè)計(jì)，重新打造，這個(gè)難度不是一般的大?！?p> 烏光輝跟著發(fā)言道：
“我是搞激光技術(shù)出身，在光刻機(jī)光源方面有一定研究。光刻分辨率想要達(dá)到0.5微米，光源波長(zhǎng)需要達(dá)到365nm以下，且對(duì)光源強(qiáng)度和均勻度都有非常嚴(yán)格的要求。咱們?cè)谝晃⒚坠饪虣C(jī)上使用的高壓汞燈，理論上其極限能達(dá)0.35微米的加工精度，但需要對(duì)其結(jié)構(gòu)進(jìn)行徹底的改造，且越是接近極限，越難以達(dá)成。
而被業(yè)界普遍認(rèn)定是下一代光刻機(jī)光源的KrF（氟化氪）準(zhǔn)分子激光，光源波長(zhǎng)為248nm，可以使最小工藝節(jié)點(diǎn)提升至350-180nm水平。當(dāng)今世界上，很多激光相關(guān)的研究所，都在對(duì)準(zhǔn)分子激光進(jìn)行研發(fā)，進(jìn)度參差不齊，達(dá)到實(shí)用水平的，一個(gè)都沒有。
我的建議是，在光刻機(jī)光源方面，兩種線路同時(shí)研發(fā)，哪個(gè)率先取得突破，下一代0.5微米光刻機(jī)上，就使用哪一種光源?！?p> 一位光學(xué)方面的專家發(fā)言道：
“光源波長(zhǎng)越短，傳播過程中越容易被透鏡吸收。下一代0.5微米光刻機(jī)，如果依舊使用高壓汞燈當(dāng)光源，使用現(xiàn)在的透鏡組合就足夠了，頂多加工精度再提高一些。如果使用準(zhǔn)分子激光做光源，透鏡系統(tǒng)就需要推倒重做，組合里至少增加兩枚玻璃透鏡，參數(shù)也要重新設(shè)計(jì)，還有鍍膜材質(zhì)也要重新開發(fā)。這方面研究需要盡快提上日程，如果開發(fā)新透鏡組合，需要的計(jì)算量非常的大，使用普通計(jì)算機(jī)計(jì)算，需要的時(shí)間會(huì)非常長(zhǎng)，我建議咱們使用ARM1芯片，組裝一臺(tái)超級(jí)計(jì)算機(jī)出來。”
一位深鎮(zhèn)大學(xué)教計(jì)算機(jī)的教授，推了推眼鏡出聲道：
“超級(jí)計(jì)算機(jī)確實(shí)是個(gè)好東西，咱們很多研發(fā)中的項(xiàng)目涉及到大量數(shù)據(jù)計(jì)算和模擬測(cè)試，如果咱們實(shí)驗(yàn)室有一臺(tái)超級(jí)計(jì)算機(jī)，可以把研發(fā)速度提高很多。
維創(chuàng)電子公司晶圓工廠出產(chǎn)的ARM1芯片，是世界上第一款精簡(jiǎn)指令集芯片，以10萬晶體管數(shù)量，提供了遠(yuǎn)超80286芯片的性能，在功耗上，也只有后者的三分之一左右，是制作超級(jí)計(jì)算機(jī)的最優(yōu)芯片。