光刻機的工作原理其實并不復雜，雖說在設計上跟相機差別越來越大，但原理依然相似，是通過將光罩上設計好的集成電路圖形通過光線曝光印在光感材料上，形成圖形。
細說的話，就是光束透射過畫有集成電路線路圖的掩模，由物鏡補償光學誤差，并將線路圖成比例縮小后映射在硅片上，然后用化學方法顯影，硅片上就刻上了電路圖。
也就是說，光刻機雖說有刻字，但基本是光學跟化學的事。
齊志講的盡...
光刻機的工作原理其實并不復雜，雖說在設計上跟相機差別越來越大，但原理依然相似，是通過將光罩上設計好的集成電路圖形通過光線曝光印在光感材料上，形成圖形。
細說的話，就是光束透射過畫有集成電路線路圖的掩模，由物鏡補償光學誤差，并將線路圖成比例縮小后映射在硅片上，然后用化學方法顯影，硅片上就刻上了電路圖。
也就是說，光刻機雖說有刻字，但基本是光學跟化學的事。
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