老美那邊搞EUV搞得如火如荼，國內卻半點“動靜”都沒，并不是真實情況。
事實上，再老美EUV聯(lián)盟成立的當月，中科院的幾大光機所就聯(lián)合召開了數(shù)次會議，討論如何實現(xiàn)EUV光源。
畢竟，遇事不決先摸一把鷹醬，這是傳統(tǒng)技藝了。
在這方面，中科院諸位那可謂是老手藝人。
討論的結果自然是不容樂觀的。
國內光學技術的扛把子，長光所，為了支持國產光刻機激光光源的發(fā)...
老美那邊搞EUV搞得如火如荼，國內卻半點“動靜”都沒，并不是真實情況。
事實上，再老美EUV聯(lián)盟成立的當月，中科院的幾大光機所就聯(lián)合召開了數(shù)次會議，討論如何實現(xiàn)EUV光源。
畢竟，遇事不決先摸一把鷹醬，這是傳統(tǒng)技藝了。
在這方面，中科院諸位那可謂是老手藝人。
討論的結果自然是不容樂觀的。
國內光學技術的扛把子，長光所，為了支持國產光刻機激光光源的發(fā)...